MEMS viitab mikro{0}}elektromehaanilistele süsteemidele. See on tehnoloogia, mis ühendab mikromehaanilised struktuurid elektroonilise tehnoloogiaga. MEMS-survekiip on MEMS-tehnoloogia põhjal valmistatud kiip, mis on võimeline mõõtma rõhku. See tunnetab välist survet mikromehaaniliste struktuuride deformatsiooni kaudu ja muudab rõhu muutused muude füüsikaliste suuruste väljundiks. MEMS-survekiipe kasutatakse laialdaselt sellistes valdkondades nagu olmeelektroonika, tööstuskontroll, tervishoid ja kosmosetööstus.
Toode Q&A
